웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

먼지를 막는 방법: 진정한 제로 오염 상태의 가열 방법 클래스 100급 청정실에서는 단 한 알의 먼지라도 치명적인 문제가 됩니다. 만약 가열 요소에서 입자나 가스가 발생한다면, 그것은 단순히 몇 개의 웨이퍼를 잃는 것이 아니라, 전체 제품을 버려야 하는 상황이 됩니다...