에바텍 증발기 가열 램프

제조 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 포토레지스트를 가열할 때 0.3°C만큼의 온도 변동이 생겨도, 그로 인해 패턴의 정밀도가 나노미터 단위로 변질될 수 있으며, 이는 엄청난 손해를 초래할 수 있습니다. Evatec의 증발기용 가열 램프는 바로 이러한 온도 변...