공장 건조 공정의 에너지 감사

팹 내에서 건조 과정은 단순히 청소 후에 이루어지는 작업이 아닙니다. 남아 있는 수분과 불균일한 열은 리소그래피 공정의 정확성을 해치고 포토레지스트의 특성을 손상시킬 수 있습니다. 오븐이 전체 영역에 일정한 온도를 유지하지 못하면, 가장자리 부분에 문제가 생기거나,...