왜 적외선 램프의 절연 성능을 꼭 검사해야 하는가? 적외선 경화 램프를 사용할 때는 엄청난 고온과 고전압이라는 혹독한 환경에 노출됩니다. 그런 환경에서는 아주 작은 절연 실패도 단순한 문제가 아닙니다. 그저 퓨즈가 나가는 정도로 끝나는 것이 아니라, 전체 생산 라인이...

기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 가열하세요. 반도체 공장에서 일해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼의 온도를 높여야 하는데, 대부분의 적외선 램프는 마치 전구와 같아서 열이 모든 방향으로 퍼져나갑니다. 이는 낭비일 뿐만 아니라, 장비의 외부 케이스가 거...

팹 내에서 건조 과정은 단순히 청소 후에 이루어지는 작업이 아닙니다. 남아 있는 수분과 불균일한 열은 리소그래피 공정의 정확성을 해치고 포토레지스트의 특성을 손상시킬 수 있습니다. 오븐이 전체 영역에 일정한 온도를 유지하지 못하면, 가장자리 부분에 문제가 생기거나,...