웨이퍼 가열 시의 안전 거리

휘발성 화학물질이 있는 곳에서 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 화학 세척 구역에서 웨이퍼를 가열하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 주변에는 가연성 증기가 날아다니고, 고온의 장비도 그 근처에 있습니다. 일반적인 적외선 램프를 사용한다...