산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터

공정에서 중요한 사항 반도체 제조 현장에서 웨이퍼가 최종 세척을 마친 후, 그때부터 시계가 시작된다. 습기 있는 상태에서 너무 오래 머물면 패턴이 붕괴된다. 베이킹 단계에서 온도가 한 도라도 벗어나면 전기 테스트에서 드러나지 않는 포토레지스트 결함이 발생한다. 건조...