진공과 호환되는 적외선 히터
스마트 팩토리에서의 적절한 열 제어 방법
인더스트리 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축한다면, 기존의 난방 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 그냥 “난방을 켜고” 최선을 기대할 수는 없습니다. 실제 데이터와 정확도가 필요합니다.
이때 바로 진공 환...
진공 챔버용 적외선 히터
램프 고장으로 인해 웨이퍼의 생산 효율이 떨어지는 것을 막으세요.
진공 챔버 내에서 대량 생산을 진행할 경우, 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 악몽과도 같습니다. 석영관이 깨지면 기계가 멈추는 것은 물론, 웨이퍼들도 파편에 의해 손상됩니다. 한...