탈이온수 건조 램프

위조된 웨이퍼의 경우, 단 한 방울의 물만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 따라서 이온화된 물을 사용해 깨끗하게 건조시켜야 합니다. 만약 수분을 완전히 제거하지 못한다면 오염이 발생할 수밖에 없으며, 그러면 포토레지스트의 접착력도 떨어집니다. 기존의 건조 방...