Stop met het verspillen van energie: waarom aluminiumreflectoren belangrijk zijn
In een halfgeleiderfabriek is hitte een soort ‘woest dier’. Als je de hitte niet precies op de juiste plek kunt dirigeren, leidt dat tot chaos.
Denk maar aan de IR-lampen. Veel mensen denken dat de lamp zelf al het werk doet, maar dat is maar de helft van het verhaal. Zonder een goede aluminiumreflector erachter, gaat ongeveer de helft van de energie terug richting de lamp. Dat is verspilling van energie, en het resultaat is dat de apparatuur beschadigt in plaats van de wafer. Dat is zeker niet ideaal.
Het bewegen van de hitte
We gebruiken hoogzuiver aluminium, omdat dit materiaal uitstekend is in het weerkaatsen van kortegolfrig en middelgolfrigs infraroodlicht. Door het metaal in een parabolische of elliptische vorm te brengen, dwingen we de fotonen om precies op het gewenste doel te belanden.
Het is een eenvoudig trucje, maar het werkt. Hierdoor krijgt de wafer een hogere temperatuur, zonder dat je de vermogenssterkte op gevaarlijke niveaus hoeft te verhogen.
Energie besparen (en je gezond verstand)
Als je probeert een ‘groene fabriek’ te runnen, moet je deze energieverliezen stoppen. Elke kilowatt die wordt verspild tijdens het verwarmingsproces, heeft niet alleen invloed op de kosten, maar veroorzaakt ook extra stress op de koelinrichtingen.
Een gepolijste reflector maakt het proces efficiënter. Je kunt de lampen minder krachtig laten werken of de tijd die de onderdelen in de oven doorbrengen verkorten. Het is sneller, goedkoper en het is beter voor je apparatuur.
De nadelen
Aluminium is uitstekend, maar het is niet onverwoestbaar. Fabrieken zijn chemisch agressieve omgevingen. Na verloop van tijd kan het oppervlak van het aluminium beschadigen of vertroebeld raken door oxidatie.
Zodra dit gebeurt, wordt de warmteverdeling verstoord. Er kunnen ‘koude plekken’ op de wafer ontstaan, wat een groot probleem is voor de kwaliteitscontrole.
Om dit te voorkomen, gebruiken we meestal een geanodeerd of gecoate oppervlak. Houd er rekening mee dat sommige coatings de golflengte van het weerkaatste licht kunnen veranderen. Je moet ervoor zorgen dat de coating past bij de specifieke IR-lamp die je gebruikt. Anders kom je weer terug bij af.