Stop met het opwarmen van uw apparaat en begin in plaats daarvan de wafer op te warmen
Als u ooit tijd hebt doorgebracht in een halfgeleiderfabriek, kent u het probleem. U moet de wafer op temperatuur brengen, maar de meeste IR-lampen werken eigenlijk als gewone lampen – ze stralen warmte in alle richtingen uit.
Dat is verspilling. Erger nog: het maakt de behuizing van uw apparatuur tot een soort gigantische radiator, wat gevaarlijk is voor iedereen die er in de buurt staat.
Daarom zijn wij overgestapt op IR-lampen gemaakt van koolstofvezel.
Hoe het werkt
Vergeet wolfram- of halogeendraden maar. Wij gebruiken emitters gemaakt van koolstofvezel, in combinatie met speciale reflectoren, om de IR-energie in een smalle, gefocuste bundel te dirigeren.
Stel je voor dat je van een schijnwerper overgaat op een zaklamp: in plaats van dat de warmte zich verspreidt over de wanden van de ruimte, gaat deze rechtstreeks naar het substraat. Het resultaat? De buitenkant van de behuizing blijft koel aan te raken. Dat is een grote opluchting voor de mensen die in de buurt werken.
Het nadeel (want er is altijd wel één)
Deze lampen zijn ontworpen voor hoge hitteproductie. We zetten ze meestal in voor kortegolfradiatie, waardoor ze enorm snel op temperatuur komen. Hierdoor is de oppervlakte die nodig is om de warmte af te geven kleiner, en is de reactietijd bijna instant.
Maar dit heeft ook nadelen: omdat de bundel zo nauw gefocust is, is precisie van cruciaal belang. Als het doelwit slechts een paar millimeter afwijkt, zal er sprake zijn van warmteplekken op de wafer.
U kunt niet zomaar nonchalant te werk gaan bij de installatie. De bevestigingsonderdelen moeten stevig zijn, en u moet de PID-regelaars aanpassen om bij te houden hoe snel de temperatuur stijgt.
Inpassing in uw systeem
Het goede nieuws is dat het vervangen van deze lampen geen probleem is. Ze zijn ontworpen als directe vervanging voor de oude, onhandige verwarmer-elementen.
Bovendien heeft dit ook voordelen voor de beheerder van uw faciliteit: omdat de hele behuizing niet meer wordt oververhit, hoeft het gekoelde waterstelsel minder hard te werken. De koelpompen kunnen eindelijk even uitrusten, en de elektronica blijft niet constant onder druk staan.
Het is veiliger, goedkoper in gebruik, en het is gewoon logisch.