Lấy dữ liệu nhiệt độ chính xác cho các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại
Nếu bạn đang xây dựng một nhà máy thông minh, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng việc chỉ “kiểm tra nhiệt độ” thôi là chưa đủ. Bạn cần có những dữ liệu chính xác để biết chuyện gì đang xảy ra với wafer trong thời gian thực. Đối với chúng tôi, điều này có nghĩa là phải kết hợp các cặp nhiệt điện đặc biệt với hệ thống tia hồng ngoại, để đảm bảo rằng năng lượng từ đèn sưởi được truyền đến bề mặt wafer đúng như mong muốn.
Chi tiết về cách hoạt động của hệ thống cảm biến tia hồng ngoại
Hệ thống tia hồng ngoại có khả năng truyền năng lượng rất nhanh. Để theo kịp tốc độ này, các cặp nhiệt điện cũng cần phải phản ứng nhanh như vậy. Trong một hệ thống kỹ thuật số, cảm biến không chỉ cho biết rằng bộ sưởi đang hoạt động, mà còn liên tục gửi dữ liệu về PLC để điều chỉnh mức công suất sưởi ấm theo thời gian thực.
Tuy nhiên, bạn cần lưu ý đến yếu tố “khối lượng nhiệt”. Nếu cảm biến quá lớn, nó sẽ phản ứng chậm. Và trong ngành sản xuất này, sự chậm trễ này có thể khiến nhiệt độ vượt quá mức mong muốn. Điều này sẽ làm hỏng wafer. Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn các cặp nhiệt điện có kích thước nhỏ – chúng giúp giảm thời gian phản ứng.
Làm sao để dữ liệu có ích
Điểm mạnh của nhà máy kỹ thuật số chính là mức độ chi tiết mà nó mang lại. Chúng tôi kết nối các cảm biến này vào hệ thống ghi lại mọi thay đổi nhỏ về nhiệt độ. Điều này giúp bạn biết khi nào thiết bị của mình bắt đầu suy giảm hiệu suất. Nếu bạn nhận thấy hệ thống phải sử dụng nhiều công suất hơn bình thường để duy trì cùng mức nhiệt độ, điều đó có nghĩa là bộ phận sưởi đang bị hỏng. Bạn có thể thay thế nó trong lúc nghỉ giải lao, thay vì phải đối mặt với tình trạng hỏng hóc trong quá trình sản xuất.
Những điều cần lưu ý (vì không có gì là hoàn hảo cả)
Độ chính xác không phải là thứ miễn phí. Những cặp nhiệt điện có độ nhạy cao thì rất dễ bị hư hỏng. Vì bạn đang làm việc trong môi trường có công suất cao, các cảm biến có thể bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao. Điều này khiến các thông số đo lường trở nên không chính xác. Bạn cần phải chú ý bảo vệ các dây dẫn của cảm biến. Nếu bạn không chọn loại vật liệu cách nhiệt phù hợp, các dây dẫn sẽ bị nóng chảy. Khi đó, dòng dữ liệu sẽ bị gián đoạn, và bạn sẽ không thể biết được tình hình thực tế của hệ thống.