حفظ امنیت در هنگام گرم کردن ویفرها در محیطهای حاوی مواد شیمیایی فرار
باید صادق باشیم: گرم کردن ویفرها در مناطق پاکسازی شیمیایی، تقریباً مانند بازی با آتش است. گازهای قابل اشتعال در اطراف وجود دارند و دستگاههایی که برای گرم کردن ویفرها استفاده میشوند، درست در میان این گازها قرار دارند. اگر از لامپهای مادون قرمز استاندارد استفاده کنید، در واقع خودتان را در معرض خطر قرار دادهاید.
ما راه بهتری پیدا کردهایم؛ به جای اینکه عناصر گرمایشی را در معرض هوا قرار دهیم، آنها را درون پوششهای ویژه قرار میدهیم. هدف این کار، کنترل فاصله بین منبع گرما و مواد شیمیایی است.
راز، در همین پوشش نهفته است
لامپهای مادون قرمز را درون کوارتز با خلوص بالا یا شیشههای ویژه قرار میدهیم؛ این کار مانند یک سپر محافظتی عمل میکند. این سپر، مانع از تماس مواد شیمیایی فرار با سطح گرم لامپ میشود.
بدون این سپر، حتی کوچکترین نشت گاز میتواند باعث ایجاد آتشسوزی شود. با جدا کردن فیلامنت لامپ، میتوانید آن را با حداکثر توان روشن کنید، بدون اینکه نگران ایجاد آتشسوزی باشید. این کار واقعاً راهکار خوبی است.
کنترل گرما
امنیت فقط مربوط به محافظت فیزیکی نیست؛ بلکه مربوط به جهت انتشار گرما نیز هست.
ما از فرستندههای مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم؛ زیرا آنها دقیق هستند. انرژی مستقیماً به سمت ویفر منتقل میشود، و از اتلاف انرژی برای گرم کردن هوا یا بدنه دستگاه جلوگیری میشود. این کار باعث میشود سطح خارجی پوشش شیشهای خنک بماند. شما گرمای لازم برای ویفر را دریافت میکنید، اما هوای اطراف آن در سطحی پایینتر از نقطه اشتعال باقی میماند.
معایب (چون هیچ چیز کامل نیست)
البته، استفاده از پوشش شیشهای باعث کاهش کمی کارایی میشود؛ بخشی از گرما از پشت پوشش عبور نمیکند.
برای رفع این مشکل، ممکن است لازم باشد توان لامپ را کمی افزایش دهید یا لامپ را کمی نزدیکتر به ویفر قرار دهید. اما یک نکته مهم وجود دارد: حتماً جریان هوا را بررسی کنید؛ اگر تهویه مناسب نباشد، حتی با وجود پوشش، میتواند «مناطق گرم» ایجاد شود.
و برای اطمینان بیشتر، میتوانید از سیستم قطع گرمایی استفاده کنید؛ این کار باعث میشود در صورت خرابی پمپ، سیستم خاموش شود و از گرم شدن بیش از حد جلوگیری شود. این روش ساده، ایمن و باعث میشود شبها راحتتر بخوابید.