چرا استفاده از گرمایش مادون قرمز بهتر از استفاده از هوای گرم برای فرآوری ویفرها است؟
اگر هنوز از روش گرمایش با هوای گرم برای فرآوری نیمههادیها استفاده میکنید، احتمالاً زمان زیادی را صرف انتظار میکنید. استفاده از گرمایش مادون قرمز، یک بهبود ساده نیست؛ بلکه راهی برای جلوگیری از اتلاف زمان و افزایش بهرهوری است.
مشکلات مربوط به استفاده از هوای گرم
فرآیند گرم کردن با هوای گرم کند است؛ یعنی انرژی با سرعت کمی منتقل میشود. این روش شبیه به گرم کردن یک اتاق با سشوار است؛ یعنی باید زمان زیادی صرف حرکت دادن هوا کنید.
اما گرمایش مادون قرمز متفاوت است؛ این روش از تابش الکترومغناطیسی استفاده میکند. انرژی با سرعت نور منتقل میشود و مستقیماً به ویفر برخورد میکند. در این روش، زمان لازم برای گرم کردن ویفر از دقایق به ثوانی کاهش مییابد.
حذف موانع در فرآیند فرآوری
در خطوط فرآوری، زمان بسیار مهم است؛ اغلب مشکلات ناشی از اتلاف زمان است.
با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانید گرمای مورد نیاز را به طور دقیق منتقل کنید؛ بنابراین نیازی نیست کل محفظه را گرم کنید تا یک ویفر به دمای مناسب برسد. به این ترتیب، کنترلکنندههای PID میتوانند دمای مورد نظر را سریعتر به دست آورند.
ما معمولاً از لامپهای مادون قرمز با موجبلند یا موجمتوسط استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون نیاز داریم انرژی واقعاً وارد ماده ویفر شود، نه اینکه فقط سطح آن گرم شود.
مشکلات مربوط به استفاده از گرمایش مادون قرمز
نمیتوانید فقط یک دستگاه گرمایشی را جایگزین کنید و مشکلات را حل کنید. گرمایش مادون قرمز دارای جهتگیری خاصی است؛ اگر تنظیمات لامپها درست نباشد یا ویفر ناهموار باشد، ممکن است نقاط گرم ایجاد شود. همچنین، از آنجایی که گرمایش مادون قرمز بسیار سریع انجام میشود، سیستم خنککننده باید قادر به مقابله با این تغییرات دمایی باشد. اگر نتوانید این تغییرات دمایی را کنترل کنید، ویفرها دچار تغییر شکل خواهند شد.
پیامدات این روش برای کارخانهها
در واقع، استفاده از هوای گرم باعث اتلاف انرژی میشود؛ یعنی پول زیادی برای گرم کردن هوایی پرداخت میشود که اصلاً به محصول شما برخورد نمیکند.
استفاده از گرمایش مادون قرمز، اندازه دستگاههای گرمایشی را کاهش میدهد و زمان فرآوری را کم میکند. اگر میخواهید ویفرهای بیشتری را در خط فرآوری پردازش کنید، بدون نیاز به خرید دستگاههای بیشتر، این روش بهترین راه است.