در فرآیند تولید، در مرحله خشک کردن ماده زیرپوش، مسائل مربوط به توان حرارتی و بازدهی محصول با یکدیگر در تضاد هستند. گاهی اوقات، یک بسته از مرحله خشک کردن عبور نمیکند؛ در نتیجه، پس از فرآیند ریفلاو، مشکلاتی مانند جدا شدن لایههای مختلف محصول رخ میدهد و مقدار Cpk نیز از حد مجاز خارج میشود. ما سیستم خشک کردن ماده زیرپوش با استفاده از نور مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که پروفایل حرارتی محصول کنترل شود؛ به این ترتیب، هر واحد تولیدی بدون مشکل، از مرحله کنترل کیفیت عبور میکند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
در منطقه خشک کردن ماده زیرپوش، یکنواختی حرارتی در سطح ویفر حدود ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است؛ این وضعیت در تمام مراحل تولید حفظ میشود. انرژی نور مادون قرمز به سرعت به داخل ماده زیرپوش نفوذ میکند و باعث خشک شدن آن میشود، بدون اینکه به سطح زیرین ماده آسیبی وارد شود؛ بنابراین بار حرارتی در محدوده مجاز باقی میماند. این سیستم ۲۴ ساعته کار میکند و هیچ ذرهای تولید نمیشود؛ همچنین، این سیستم مناسب برای فضاهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ است و تعداد ذرات در طول فرآیندهای لیتوگرافی و بستهبندی نیز کنترل میشود. کنترل دما نیز مشابه فرآیندهای خشک کردن معمولی است؛ در نتیجه، ساختار فوتورزیست حفظ میشود و ابعاد مهم محصول نیز تغییر نمیکنند.
دلیل موفقیت این روش در تولیدات انبوه این است که سرعت خشک کردن ماده زیرپوش، سرعت تولید را تعیین میکند. نور مادون قرمز، زمان لازم برای خشک شدن ماده زیرپوش را کاهش میدهد، بدون اینکه به چسبندگی یا شکل ماده زیرپوش آسیبی وارد شود؛ همچنین، این یکنواختی حرارتی، میزان مواد اضافی و نیاز به تولید مجدد را کاهش میدهد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا خشک شدن ماده زیرپوش به سرعت و به صورت هدفمند انجام میشود؛ همچنین، تکرارپذیری این فرآیند، باعث استقرار میزان OEE میشود. از ویفر تا بستهبندی، چسبندگی یکنواختی، هماهنگی در مقادیر CTE، و کاهش شکستها، از ویژگیهای مثبت این روش هستند.
خلاصه: روش خشک کردن ماده زیرپوش با استفاده از نور مادون قرمز، روشی بسیار مؤثر است. در صورتی که ساختار ماده زیرپوش پیچیده باشد، نیاز به طراحی مناسب دستگاه یا انجام مرحله خشک کردن دوم وجود دارد. راهاندازی این سیستم سریع است؛ کافی است پروفایل لامپ، سرعت کانوایر، و توان انتشار نور مادون قرمز را تنظیم کنید. پس از تنظیم، این فرآیند در تمام محصولات یکسان باقی میماند؛ اما اگر از فرمولاسیون متفاوتی برای ماده زیرپوش استفاده کنید، لازم است مرحله تنظیم مجددی انجام شود.