Прекратите тратить энергию впустую: лучший способ нагрева кремниевых пластин
Нагрев кремниевых пластин требует высокой точности. Но есть проблема: стандартные инфракрасные лампы излучают тепло во все стороны – на 360 градусов. В тесной камере для обработки полупроводников это тепло не остается только на самой пластине; оно также попадает на внутренние стены камеры. В итоге корпус оборудования становится чрезвычайно горячим. Это значит потерю энергии, а также создает опасность для тех, кто работает рядом с оборудованием.
Как мы решаем эту проблему
Мы не оставляем кварцевую трубку без защиты. Вместо этого мы используем специальные отражатели и покрытия, которые направляют инфракрасную энергию именно туда, куда нужно. Можно сказать, что это как переход с использования обычной лампочки на фонарик: при сужении луча фотоны попадают прямо на пластину, а не нагревают корпус оборудования.
Плюсы и минусы
Плюс в том, что можно увеличить мощность нагрева без повреждения внутренних компонентов оборудования. Пластины нагреваются гораздо быстрее. Но нужно быть осторожным: при сужении луча тепло становится чрезвычайно концентрированным. Если пластина находится не в центре или высота её положения не соответствует параметрам, тепло будет распределяться неравномерно по поверхности пластины. Для компенсации этого необходимо точно настроить контроллеры PID.
Как сохранить прохладу и чистоту
Если стены камеры остаются прохладными, все компоненты работают дольше. Исчезает проблема нагрева стен, что может привести к повреждению уплотнений или деформации компонентов. Система будет работать более стабильно.
Важный совет: Храните отражатели в чистоте.
Это кажется простым, но даже небольшое количество пыли или осадков может размывать луч. В таком случае весь жар будет направлен обратно на стены камеры. Если оптика будет чистой, система будет работать эффективнее.