真空チャンバー用赤外線ヒーター

ストップランプの故障がウェーハの歩留まりを低下させないようにしましょう。 もし真空チャンバー内で高負荷の生産を行っている場合、ランプの破損は単なる問題ではありません。それは悪夢そのものです。石英管が割れると、機械の動作が停止するだけでなく、破片がウェーハに飛び散ります。一度でも破損してしまうと、そ...