快速响应红外加热灯泡

在光刻车间，95°C的软烘焙不是可选项——这是规格。您让这个温度漂移±0.5°C，光刻胶的特性就会发生变化。您所苦心经营的线宽控制将会崩溃。您需要的是能够瞬时加热、保持稳定且不会向洁净室释放颗粒的热源。 底层的重要性 我们使用快速响应的红外加热灯泡——高纯度石英外壳内的短波卤素元件。它们在毫秒内迅...