晶圆老化测试加热灯

在线上，晶圆的热预算是固定的。烧录过程中若出现一个热点，失效机制就会隐入数据中，而不是被迫排除。我们设计了晶圆烧录测试加热灯，以消除这种不确定性。 关键技术细节 我们采用调谐为快速、定向加热的近红外（NIR）石英卤素发射器，并闭环控制，使设定点保持在±0.1°C以内。这保证了晶圆级的热均匀性，严格...