晶圆加热的安全距离

在含有易挥发化学物质的环境中加热晶圆时，如何确保安全呢？说实话，在化学清洗区域内加热晶圆其实就像是在玩火一样危险。周围有易燃的蒸汽，而高温设备则直接位于这些蒸汽之中。如果使用普通的红外灯，那无疑是在自找麻烦。 我们找到了更好的方法：不再让加热元件直接暴露在空气中，而是将其包裹起来。这样就能控制热量...