在含有易挥发化学物质的环境中加热晶圆时，如何确保安全呢？说实话，在化学清洗区域内加热晶圆其实就像是在玩火一样危险。周围有易燃的蒸汽，而高温设备则直接位于这些蒸汽之中。如果使用普通的红外灯，那无疑是在自找麻烦。
我们找到了更好的方法：不再让加热元件直接暴露在空气中，而是将其包裹起来。这样就能控制热量与化学物质之间的接触。
关键在于保护层 我们将红外灯放入高纯度石英或特殊玻璃制成的容器中。这就好比给红外灯加上了一层保护罩，防止那些易挥发的清洁剂接触到灼热的灯表面。如果没有这种保护层，哪怕是微小的泄漏都可能引发火灾。通过将灯丝隔离起来，就可以让灯以最大功率运行，而不用担心会有任何蒸汽云导致实验室发生火灾。这真是令人欣慰的解决方案。
控制热量的分布 不过，安全性不仅取决于物理上的密封，还取决于热量的分布方式。我们使用短波红外发射器，因为它们能够精准地将热量传递到晶圆上，而不会浪费时间去加热空气或机器外壳。这样一来，玻璃容器的外部温度就会保持较低水平。这样，晶圆就能获得所需的高温，而周围的空气则不会达到燃烧的温度。
当然，凡事都有代价 不过，添加玻璃保护层确实会降低一些效率。有些热量无法透过玻璃层。为了解决这个问题，可能需要增加电源的功率，或者把灯泡放得更靠近晶圆。不过有个小技巧：检查一下通风状况。如果通风不良，即使有密封层，也仍可能出现“热点”。为了确保安全，可以安装专用的过热保护装置。这样，一旦泵出现故障，系统就会自动停止工作，从而避免过热现象。简单又安全，这样就能让人安心入睡了。