如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损害？
干燥MEMS传感器晶圆其实是一项非常微妙的任务。需要让水分迅速蒸发，但若处理不当，就会给晶圆带来机械应力，从而导致其损坏。
我们找到了一个解决方案：使用红外加热器，再配合镀金反射器。这样做的好处在于，热量能够直接作用于晶圆表面，而不是仅仅加热机器内部。
为什么选择黄金？
大多数人会使用铝制反射器，但它们会释放大量红外能量，这些能量其实都是浪费的。而高纯度黄金则能很好地反射近红外光。与其说是“增加热量”，不如说是“将热量精准地传递到晶圆上”。这样一来，那些本会散失在空中的光子就能被引导到晶圆上。
最棒的是，这样就能以更低的能耗获得更高的热输出效率。
如何实现精确控温？
在MEMS领域，一致性至关重要。如果晶圆的左侧比右侧干得更快，那么晶圆就会发生变形或出现异常的残留物。那可真是糟糕的情况。
我们花了很长时间来调整反射器的结构，以避免出现局部过热的情况。镀金层有助于让热量均匀分布在晶圆表面，从而避免出现不均匀的加热现象。
潜在的问题及解决方法
问题是：当向工件施加如此大的能量时，加热器的外壳也会变得非常热。这种情况下，必须确保冷却系统能够有效处理产生的热量。如果冷却效果不佳，电极就会过热，进而缩短加热器的使用寿命。
此外，还需要使用精确的PID控制器。因为镀金反射器对功率变化的响应速度很快，所以需要仔细调整参数。否则，温度就有可能超过设定值。
一旦调整好这些参数，就可以大幅缩短干燥时间，同时还能保护晶圆不受损。这无疑是一举两得的做法。