クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100（ISO 5）の環境を維持するには、まさにほこりとの戦いが必要です。ごく微小な粒子すべてが敵となります。問題は、一般的なヒーターが実は問題の原因であることです。ヒーターが加熱されると、微細な破片が放出されてしまいます。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
なぜ石英なのか？
それは材料の違いによります。私たちが使用しているのは、非常に純度の高い融合シリカであり、どんなに高温になっても揮発性有機化合物（VOC）を漏らしません。
石英管は、内部のタングステンフィラメントをしっかりと封じ込める役割をします。金属やセラミック製のヒーターのように、時間が経つと酸化したり剥がれ落ちたりすることはありません。反応もしないので、ウェーハや基板に必要な熱を得ることができ、不要な影響を与えることはありません。
電力と「ストレス」の問題
電圧やワット数を調整することで、望みの熱量を得ることができます。迅速に作業を進め、生産効率を上げたい場合は、高出力のランプを使用しましょう。ただし、小さな空間内で多くの熱が発生すると、ランプの端部分に大きな負荷がかかります。
短い管の中で最大出力を得ようとする場合は、ランプが十分に動けるように固定具をしっかり設置する必要があります。石英は加熱されると膨張します。もし管が締め付けられすぎると、割れてしまいます。それだけです。
設置とメンテナンス
通常はR7sやSk15のコネクタを使用します。これにより配線がしっかり固定され、振動による影響を防ぐことができます。ほとんどの場合、これらのコネクタは既存の工業用赤外線アレイに簡単に取り付けられます。
始める前に注意点があります。 まず、電源を確認してください。ランプ自体は清潔ですが、電源にノイズがあると、敏感なクリーンルームのセンサーに悪影響を与える可能性があります。良質なフィルターを使えば、この問題を解決できます。
次に、**これらのランプはガラスのように扱う必要があります。**文字通りです。管に指紋がつくだけでも、熱の集中点ができてしまいます。その熱の集中点が弱点となり、結果としてランプが早く壊れてしまいます。常に、絶対にノンウォッシュグローブを使用してください。例外はありません。