웨이퍼 레벨 패키징용 히터
팬아웃 재분배 과정에서 가장 중요한 것은 열 제어입니다. 에폭시 몰드 컴파운드가 굳는 동안 발생하는 한 점의 과열 현상, 포토레지스트를 건조시키는 과정에서의 온도 변동 등으로 인해 선의 굵기나 버블의 평탄도를 유지하기가 어려워집니다. 그래서 히터는 모든 칩, 모든 생...
책상용 개인 히터
따뜻한 책상은 업무를 더 수월하게 만들어줍니다. 특히 욕실이나 홈오피스의 공기가 습하고 불쾌해질 때는 더욱 그렇죠. 저희는 원하는 위치에 정확하게 따뜻함을 전달할 수 있도록 이 인체공학적인 적외선 히터를 만들었습니다. 또한 모든 제품은 엄격한 습도 및 고온 환경에서의...
벽걸이형 전기 벽난로
벽에 설치되는 전기 벽난로는 단순히 편안함을 제공하는 것 이상의 기능을 해야 합니다. 난방 소자가 고온으로 작동하고, 전체 장치가 완성된 벽 안에 위치하기 때문에, 매일 안정적으로 작동해야 합니다. 우리는 항상 같은 질문을 던집니다. 왜 어떤 제품들은 오랫동안 문제없...
광학 웨이퍼 가공 히터
팹에서는 어떻게 되는지 아시죠? 사소한 오차로 인해 포토레지스트가 제대로 가열되지 않으면, 전체 생산량이 폐기물이 되어버립니다. 광학 웨이퍼 처리에 있어서는 일정하고 균일하며 정확한 온도 조절이 매우 중요합니다. 우리는 그러한 요구사항을 충족시키기 위해 이 히터를 설...
반도체 가열 기술의 미래
팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C의 온도 변동만으로도 전체 생산물을 폐기해야 합니다. 웨이퍼 단위에서의 열 관리는 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 할 사항입니다. 저희는 이러한 현실을 고려하여 가열 플랫폼을 설계했습니다.
기술적으로 중요한...
에바텍 증발기 가열 램프
제조 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 포토레지스트를 가열할 때 0.3°C만큼의 온도 변동이 생겨도, 그로 인해 패턴의 정밀도가 나노미터 단위로 변질될 수 있으며, 이는 엄청난 손해를 초래할 수 있습니다. Evatec의 증발기용 가열 램프는 바로 이러한 온도 변...
할로겐 히터
저녁이 되어 추위가 몰려오면, 10분 후가 아니라 지금 당장 따뜻함이 필요합니다. 이것이 바로 할로겐 히터의 장점입니다. 즉시 따뜻한 열기가 방출되어, 추운 야외 공간이나 통풍이 잘 되는 작업실, 혹은 거실의 추운 구석을 편안하게 사용할 수 있는 공간으로 변모시켜 줍...
빠르게 난방되는 공간 히터
작업장이나 야외 공간에서는 추위가 단순히 불편할 뿐만 아니라, 작업 속도를 저하시키고 고객들을 불쾌하게 만듭니다. 난방 시스템이 제대로 작동하지 않으면 어디서나 추위를 느끼게 됩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 적외선 히터를 개발했습니다. 필요할 때 바로 따...
과열 방지 히터
상업용 건물의 소유주들은 사람들이 불편해지지 않으면서도 에너지 사용량을 줄여야 하는 상황에 처해 있습니다. 겨울이 되면 기존의 난방 시스템의 사용량이 급증하고, 이는 운영 비용과 ESG 보고서에도 영향을 미칩니다. 고효율의 적외선 히터를 사용하면 건물 전체를 따뜻하게...
탈이온수 건조 램프
위조된 웨이퍼의 경우, 단 한 방울의 물만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 따라서 이온화된 물을 사용해 깨끗하게 건조시켜야 합니다. 만약 수분을 완전히 제거하지 못한다면 오염이 발생할 수밖에 없으며, 그러면 포토레지스트의 접착력도 떨어집니다. 기존의 건조 방...
IC용 컴팩트형 적외선 건조기
리소그래피 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 작업은 단순한 단계에 불과한 것이 아닙니다. 이는 결코 간과할 수 없는 중요한 열 관리 과정입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 약간의 온도 변동만 있어도 제품의 크기 제어에 문제가 생기고, 웨이퍼의 측면 형태도...
12V 24V 전기 히터
맑고 추운 밤에는, 오프그리드형 태양광 시스템이 배터리를 충전하는 역할을 합니다. 그러나 아침에 사용할 에너지를 낭비해서는 안 됩니다. 이럴 때 12V 또는 24V의 전기적 적외선 히터가 유용하게 사용됩니다.
중요한 점은 무엇인가? 이러한 히터들은 탄소섬유나 석영과...
산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터
공정에서 중요한 사항 반도체 제조 현장에서 웨이퍼가 최종 세척을 마친 후, 그때부터 시계가 시작된다. 습기 있는 상태에서 너무 오래 머물면 패턴이 붕괴된다. 베이킹 단계에서 온도가 한 도라도 벗어나면 전기 테스트에서 드러나지 않는 포토레지스트 결함이 발생한다.
건조...
고급 웨이퍼 제조를 위한 구역별 난방
리소그래피 공정에서는 포토레지스트 소프트 베이크 중 0.3°C의 온도 편차가 식각 공정을 거쳐 라인 폭 편차로 이어지며 수율 손실로 직결될 수 있다. 열적 한계는 두 번째 기회를 주지 않는다. 우리는 첨단 웨이퍼 팹을 위해 존별 가열을 설계하여 웨이퍼 표면 전체와 프...
벽걸이 히터를 꽂으세요
작업장이나 차가운 실내 파티오의 외진 구석으로 들어가면, 공기가 차갑게 느껴진다. 중앙 난방 시스템이 따라잡기를 기다리는 것은 시간과 에너지를 낭비하는 것이다. 적외선 복사열을 기반으로 한 플러그인 벽 난방기는 이러한 느낌을 빠르게 없애준다. 공허한 공간이 아닌, 당...