フェンアウトウェーハレベルパッケージヒーター
ファンアウト再配線においては、熱制御が最も重要です。エポキシ樹脂が硬化する際に発生するホットスポット、フォトレジストを加熱する際の温度変動などがあり、これらによって回路幅の制御やバンプの平面性を維持するのが難しくなります。そのため、ヒーターは、すべてのチップ、すべてのロット、すべてのシフトにおいて...
デスク用個人用ヒーター
暖かいデスク環境は、仕事をより楽にしてくれます。特に、バスルームやホームオフィスの空気が湿気を帯びて快適でない場合には有効です。私たちは、必要な場所に的確に暖かさを届けるためにこのパーソナル型赤外線ヒーターを開発しました。また、毎日安定して動作し続けるために、厳しい耐湿試験も行っています。
実際に...
壁掛け式電気暖炉
壁掛け式の電気暖炉は、単に快適さを提供するだけでなく、日々安定して動作し続けることが求められます。というのも、発熱体が高温で動作し、装置全体が壁の中に設置されているからです。同じ疑問が何度も浮かびます。なぜ、一部の装置は長年にわたって正常に動き続けるのに、他の装置は早く壊れてしまうのでしょうか？ほ...
光学ウェーハ加工用ヒーター
ファブの現場では、どうしても予測不可能な要因があります。例えば、フォトレジストの加熱処理でわずかに温度がずれただけでも、全体の製品が廃棄処分になってしまいます。光ウエハーの処理においては、再現性があり、均一で、クリーンな加熱が不可欠です。そのため、私たちはこのヒーターを、そうした要求に合わせて設計...
半導体加熱技術の未来
ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.5℃の温度変動があれば、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハレベルでの熱管理は単なる提案ではなく、必須の要件です。私たちはこの現実を踏まえて加熱プラットフォームを設計しました。
技術的に重要な点としては、当社の近赤外線放射体アレイに...
エヴァテック蒸発器用加熱ランプ
製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に0.3℃の温度変動があるだけで、パターンの精度がナノメートル単位で乱れ、多大な損失を招くことになります。Evatecの蒸発器用ヒーターランプは、そうした温度変動を発生する前に防ぐように設計されています。
実際に重要なのは何か？ 私たちは、クロ...
ハロゲンヒーター
夕方になって寒さが増してくると、10分後ではなく、すぐに暖かさが得られることが望ましいです。それがハロゲンヒーターの利点です。瞬時に放射熱を発生させ、寒々しいテラスや風の通りやすい作業場、またはリビングルームの寒い場所を、実際に座りたくなるような場所に変えてくれます。
このような快適さは偶然にもた...
急速加熱式エアヒーター
ワークショップの床面や屋外で作業をするとき、寒さは単に不快なだけではありません。作業のスピードが低下し、顧客も不快に感じ、どんな作業もより大変に感じられます。暖房が追いつかないと、至る所でその影響を感じます。私たちが開発した赤外線ヒーターは、この状況を逆転させるものです。空気が温まるのを待つことな...
過熱保護ヒーター
商業用建物のオーナーは、人々の生活に支障を来さずに、エネルギー消費量を削減するという大きなプレッシャーに直面しています。冬が来ると、従来の暖房システムの需要が急上昇し、それが運用コストやESG報告書にも反映されます。高効率の赤外線ヒーターを使えば、建物全体を温める代わりに、特定の場所だけを直接温め...
脱イオン水用乾燥ランプ
リソグラフィーフロア上では、わずか一つの水分でも、全体の品質を台無しにしてしまいます。脱イオン水を使って洗浄する際、水分を完全に除去できなければ、汚染が発生し、フォトレジストの密着性も失われてしまいます。従来の乾燥方法ではウェーハ全体に温度差が生じ、ソフトベークやハードベークのプロセスが乱れてしま...
IC用コンパクト型赤外線ドライヤー
リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる工程の一つではありません。それは、絶対に見過ごしてはならない重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの温度が半度でもずれると、重要な寸法制御が崩れ、ウェーハの側壁形状も乱れてしまいます。従来のオーブンでは、熱容量が大きく、温度上昇が遅...
12V・24V電気ヒーター
晴れていて寒い夜には、オフグリッド用のソーラーパネルがバッテリーを充電してくれます。このような時、朝のために確保しておいた電力を無駄にしてはいけません。そんな時こそ、12Vまたは24Vの電気式赤外線ヒーターが役立ちます。
重要なポイント これらのヒーターは、炭素繊維や石英といった低電圧の赤外線素子...
産業用ウェーハ乾燥システムヒーター
Fabフロアでは、ウェハーが最終リンスを通過した瞬間からタイマーが動き出す。濡れた状態で長時間放置するとパターンが崩れる。ベーク工程の温度が1度でもずれると、電気的検査まで現れないフォトレジスト欠陥が発生する。 乾燥ヒーターは「あると良いもの」ではなく、実際のプロセス制御点である。
実際に重要なの...
先進的なウェーハファブ向けゾーン暖房
リソグラフィーフロアでは、フォトレジストのソフトベーク中に0.3℃のドリフトが発生すると、エッチングを通じてライン幅の変動を引き起こし、歩留まりの損失につながる可能性があります。熱的予算では、二度とチャンスはありません。私たちは、温度を必要な場所—ウエハ上、表面全体、およびプロセスウィンドウ内に維...
壁取り付け型ヒーターを差し込む
ドラフトが入る作業場の片隅や冷えた屋根付きのパティオに立つと、空気の冷たさを強く感じる。中央暖房システムが追いつくまで待つのは、時間とエネルギーの無駄になる。赤外線放射熱を利用したプラグイン式壁掛けヒーターは、その感覚を迅速に解消する。空間全体ではなく、立っている場所に直接熱を届けるのだ。
実際に...