クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100（ISO 5）の環境で作業を行っているのであれば、エアフィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えない微小な粒子です。 ほとんどの加熱要素は、高温になると微細な粉塵や破片を放出してしまいます...

赤外線加熱と強制送風：どちらが実際に自分のクリーンルームに適しているのか？ 半導体処理用のオーブンを選ぶ際、重要なのは「熱をどのように伝えるか」という点です。 ほとんどの人は最初に強制送風式を選びます。つまり、空気を加熱してファンで送り出し、それによって被加工物に熱が届くのを待つわけです。しかし、...

熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハをより効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱するには、正確さが不可欠です。しかし問題は、一般的な赤外線ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造装置内では、その熱はウェーハに留まらず、...

安全を確保するために：不安定な環境でのUHPヒーターランプの使用 化学洗浄ライン内で赤外線ヒーターを使用すると、非常に危険な状況になります。そこには可燃性の蒸気や腐食性の液体があふれています。このような環境では、通常のランプを使うのは悪い選択肢です。むしろ、危険を招くことになります。 そのため、私...

揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際の安全対策 正直に言って、化学洗浄エリアでウェーハを加熱するのは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、その真ん中には高熱を発する装置があるのです。もし通常の赤外線ランプを使うと、それはまさに災害を招く行為に他なりません。 私たち...

オーブンを待つのはやめましょう：なぜ半導体加工においてIR加熱が優れているのか もし、依然として半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、ほとんどの時間を待つことに費やしていることになります。 熱風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その後チャンバーを加熱し、最終的にウェー...

スマートファブで適切な温度制御を実現するには もしインダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の加熱方法では不十分だということに気づいているはずです。単に「ヒーターをつければいい」と考えても意味がありません。正確なデータと精密な制御が必要です。 そこで役立つのが、真空環境...

なぜ、すべての赤外線ランプをテストするのか？（そして、なぜあなたがそれを気にすべきか） こちらでは、ランダムな抽出検査は行いません。私たちの工場から出荷されるすべての赤外線ランプは、必ず耐圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。 現実を言えば、高ワット数の加熱要素をデジタルコントローラー...

ストップランプの故障がウェーハの歩留まりを低下させないようにしましょう。 もし真空チャンバー内で高負荷の生産を行っている場合、ランプの破損は単なる問題ではありません。それは悪夢そのものです。石英管が割れると、機械の動作が停止するだけでなく、破片がウェーハに飛び散ります。一度でも破損してしまうと、そ...

鋳片の発生を止める：なぜ私たちはツインチューブ式の金コーティングランプを選んだのか 大量生産が行われる半導体工場では、ランプが壊れるというのは単なる悩み事ではありません。それはまさに悪夢です。 通常の石英管が壊れると、単に機能しなくなるだけではありません。実際には爆発してしまい、ガラスの破片や金属...

なぜ半導体の乾燥において熱風ではなく赤外線を使うのか 正直言って、洗浄工程は通常、作業が遅くなる部分です。 長年にわたり、一般的に使われてきたのは熱風循環方式でした。しかし、これは要するに、ウェーハを乾燥させるために巨大な空気の箱を加熱しているに過ぎません。時間や電力の無駄に思えます。 そのため、...

カーボンナノチューブを作るには、正確な温度勾配を実現することが不可欠です。そのために、私たちはごく小さなスペースに大量の電力を込めるヒーターを作ります。 しかし問題は、そんな大量のエネルギーを扱う際には、ミスの余地が全くないということです。絶縁材にわずかな隙間があれば、コントローラーが破壊されたり...

バイオセンサーの設備を安全に保つために（そして、あなたの精神を健全に保つために） バイオセンサーを製造する際には、温度を正確にコントロールする必要があります。しかし問題は、わずかな電気的なアークや漏れ電流だけで、一括して作られた敏感な基板がすべて破壊されてしまうことです。さらに悪いことに、ブレーカ...

なぜIRランプの絶縁試験にこだわるのか 赤外線硬化ランプを使用するとき、高温と高電圧という過酷な環境に置かれます。そのような環境では、わずかな絶縁不良が起きただけでは済みません。単にヒューズが切れるだけではなく、生産ライン全体が一瞬で破壊されてしまう可能性もあります。さらに悪いことに、その装置は操...

グローブボックスの温度を適切に調整する方法 スマートファブで作業している方なら、他の設備に影響を与えずに材料の温度を適切に保つのがどれほど難しいかご存知でしょう。従来の対流式ヒーターは遅く、十分な性能を発揮しません。そのため、私たちはIRヒーターを採用しています。IRヒーターは速く、精度も高く、デ...

MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると機械的なストレスが発生し、部品が破壊されてしまいます。 私たちは、赤外線ヒーターと金塗装された反射材を組み合わせることで、この問題を解決しま...

装置を加熱するのはやめよう：ベンチヒーティングのより良い方法 クリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。特定の部品を所定の温度にしなければならないのですが、装置全体をオーブンのようにしてしまうわけにはいきません。 通常の対流式ヒーターは、まるで熱弾のように、熱をあちこちに放...

なぜウェーハ処理においては赤外線加熱の方が優れているのか もしまだ半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、待ち時間に多くの時間を費やしていることでしょう。赤外線加熱に切り替えるのは、単なる「アップグレード」ではありません。それは、生産性を損なうような無駄な時間をなくすための手段なので...

ほこりを防ぐ：実際にゼロ汚染の加熱を実現する方法 クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこりの粒子でも大問題です。もし加熱要素から粒子が飛び出したり、ガスが発生したりすると、数枚のウェーハだけを失うだけでなく、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。 だからこそ...

スマートファブで適切な加熱を実現するには Industry 4.0向けのスマートファブを構築する際には、従来のやり方で熱を扱う考え方は捨てる必要があります。古くて非効率的なヒーターのことは忘れましょう。デジタル生産ラインを効率的に動かすためには、信頼できる温度データが不可欠です。そして、そのデータ...

熱を無駄にしないために：なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか 半導体製造工場では、熱というのはまるで手に負えない存在です。必要な場所に正確に熱を送り込むことができなければ、結果的に混乱が生じます。 IRランプを考えてみてください。多くの人は、ランプ自体が全ての仕事をしていると思っていますが、それ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100（ISO 5）の環境を維持するには、まさにほこりとの戦いが必要です。ごく微小な粒子すべてが敵となります。問題は、一般的なヒーターが実は問題の原因であることです。ヒーターが加熱されると、微細な破片が放出されてしまいます。 だから...

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度に持っていく必要がありますが、ほとんどの赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。これは無駄遣いです。さらに...

なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか スマートファクトリーを構築する際、熱というものは非常に扱いにくいものだということがわかります。単に物を温めるだけでは不十分で、毎秒正確にどれくらいの温度になっているかを把握する必要があります。生産がデジタル化されると、加熱機能は安...

クリーンルーム用のトロリーで手をやけどすることはもうやめましょう。 もし、これまで標準的なクリーンルーム用トロリーを使ったことがあるなら、その問題はよくわかるでしょう。ヒーターによって部屋全体が熱くなり、内壁がその熱を吸収します。すると、いつの間にかトロリーの本体が発光するほどになります。実際にそ...

金反射材を使用したIRランプの短絡を防ぐために 私たちが設計する金反射材を搭載したIRランプは、熱密度をできるだけ高めるように作られています。しかし問題は、より良い反射効果を得るために金コーティングを施すと、高エネルギーを持つ部品が金属製のケースの中に入ってしまうことです。注意しなければ、これは短...

熱を無駄にしないでください：ウェーハを効果的に加熱する方法 もし、ウェーハの加熱のために反射器を使わずにIRランプを使用しているなら、実質的にエネルギーの半分が無駄になっています。 考えてみてください。通常のIRランプは、360度全方位に熱を放出します。狭い加熱室の中では、その半分の熱が壁に当たっ...

IR半導体ヒーターのための正確な温度データの取得方法 スマートファブを構築している場合、単に「温度をチェックするだけでは不十分だ」ということはお分かりでしょう。実際にウエハーに何が起きているかをリアルタイムで把握できるデータが必要です。私たちにとっては、専用の熱電対とIRシステムを組み合わせること...

金コーティングされた赤外線ランプ：ランプの破損というトラブルなしで、半導体製造ラインを安定して稼働させる 私たちが金コーティングされた赤外線ランプを開発する理由は、単純です。それは、ランプが破損してウェハーが汚染されるといった最悪の事態を避け、大量生産が行えるようにするためです。 24時間365日...

半導体製造機器の部品：大手メーカーの製品との直接比較を行う 私たちは、公正な直接比較を望んでいます。自社の加熱コンポーネントを、高級なウエハー製造用の国際的なブランド製品と同じ条件下でテストしようと思っています。 私たちの言葉だけを信じるのではなく、ご自身で数値を確認してみてください。 詳細：電力...

はじめに ウェーハ乾燥ラインを運用する際、最も重要なのは、装置が絶え間なく動き続けることです。稼働時間こそが何よりも重要なのです。 そこで私たちは、トップブランドに匹敵する性能を持つウェーハ乾燥用ランプを開発しました。単に彼らの製品を真似るだけでなく、同じ原材料を使用し、同じレベルの技術力を投入し...

パワー、電圧、サイズ――実際の性能 私たちが開発したこの高純度石英ヒーターは、工業用ヒーターの代替品として使えるように設計されています。特別な改造や手間は必要ありません。2500Wの出力を得るためには400Vの電圧が必要であり、これによって迅速に所定の温度に到達できます。 サイズについてですが、わ...

製造現場において、乾燥処理というのは単に洗浄後に行う作業だけではありません。実際には、残った水分や不均一な温度が、フォトレジストの表面状態を悪化させ、その特性を乱してしまいます。オーブンがウェハ全体に対して一定の温度を維持できない場合、ウェハの端にビードができたり、表面に剥がれが生じたり、CDの位...

製造現場では、半導体用のアンダーフィルを硬化させる過程で、熱管理と歩留まりという問題が生じます。もし1つのパッケージが十分に硬化されていない状態で出荷されてしまうと、リフロー処理後に層間剥離が発生し、Cpk値も規定範囲を外してしまいます。私たちは、熱分布を厳密に管理するためにNIRを利用したアンダ...

ファンアウト再配線においては、熱制御が最も重要です。エポキシ樹脂が硬化する際に発生するホットスポット、フォトレジストを加熱する際の温度変動などがあり、これらによって回路幅の制御やバンプの平面性を維持するのが難しくなります。そのため、ヒーターは、すべてのチップ、すべてのロット、すべてのシフトにおいて...

ファブの現場では、どうしても予測不可能な要因があります。例えば、フォトレジストの加熱処理でわずかに温度がずれただけでも、全体の製品が廃棄処分になってしまいます。光ウエハーの処理においては、再現性があり、均一で、クリーンな加熱が不可欠です。そのため、私たちはこのヒーターを、そうした要求に合わせて設計...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.5℃の温度変動があれば、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハレベルでの熱管理は単なる提案ではなく、必須の要件です。私たちはこの現実を踏まえて加熱プラットフォームを設計しました。 技術的に重要な点としては、当社の近赤外線放射体アレイに...

製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に0.3℃の温度変動があるだけで、パターンの精度がナノメートル単位で乱れ、多大な損失を招くことになります。Evatecの蒸発器用ヒーターランプは、そうした温度変動を発生する前に防ぐように設計されています。 実際に重要なのは何か？ 私たちは、クロ...

リソグラフィーフロア上では、わずか一つの水分でも、全体の品質を台無しにしてしまいます。脱イオン水を使って洗浄する際、水分を完全に除去できなければ、汚染が発生し、フォトレジストの密着性も失われてしまいます。従来の乾燥方法ではウェーハ全体に温度差が生じ、ソフトベークやハードベークのプロセスが乱れてしま...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる工程の一つではありません。それは、絶対に見過ごしてはならない重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの温度が半度でもずれると、重要な寸法制御が崩れ、ウェーハの側壁形状も乱れてしまいます。従来のオーブンでは、熱容量が大きく、温度上昇が遅...

Fabフロアでは、ウェハーが最終リンスを通過した瞬間からタイマーが動き出す。濡れた状態で長時間放置するとパターンが崩れる。ベーク工程の温度が1度でもずれると、電気的検査まで現れないフォトレジスト欠陥が発生する。 乾燥ヒーターは「あると良いもの」ではなく、実際のプロセス制御点である。 実際に重要なの...

リソグラフィーフロアでは、フォトレジストのソフトベーク中に0.3℃のドリフトが発生すると、エッチングを通じてライン幅の変動を引き起こし、歩留まりの損失につながる可能性があります。熱的予算では、二度とチャンスはありません。私たちは、温度を必要な場所—ウエハ上、表面全体、およびプロセスウィンドウ内に維...

リソグラフィーフロアでは、95℃のソフトベイクはオプションではなく、仕様です。この温度が±0.5℃ずれてしまうと、フォトレジストのプロファイルが変わります。あなたが苦労しているライン幅の制御が崩れます。必要なのは、瞬時に到達し、安定して保持し、クリーンルームに粒子を放出しない熱です。 内部で重要な...

ファブフロアではお馴染みのことだが、ベイク温度が0.5℃ずれるだけで重要寸法がナノメートル単位で変動し、いつの間にか大量にスクラップを出してしまう。従来のランプはオゾンも発生させるため、光学系を損傷させ、チャンバーに付着物を作る。これによりパーティクル数が増加し、予期せぬメンテナンスのためにライン...

ライン上では、ウェーハの熱予算は固定されている。バーンイン中の一箇所のホットスポットが原因で、故障メカニズムが排除されずにデータに混入してしまう。そこで、私たちはその曖昧さを解消するためにウェーハバーンインテスト用の加熱ランプを開発した。 内部で重要なポイント 高速かつ指向性のある熱を実現するため...